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激光扫描测径仪


激光扫描测径仪
这也是用得较多的一种,在国外以beta公司开发较早,而国内以明锐科技开发相关设备较早,1987年第一台商用测径仪在明锐科技公司前身三立研制所诞生,他利用旋转的八面镜将射来的激光形成扫描带,扫描带再扫描被测物体形成投影,其投影宽度可以通过光电管接收并测量得来。其主要适合大直径测量,据有精度高的特点,目前明锐相关产品精度最高可达0.5um,小直径测量由于其光斑本身比被物大,且产生干涉衍射现象,不容易较好的测量,但据说辉煌也有相关的细丝测径仪,也是利用扫描测量原理。
激光扫描测径仪由两部分构成:发射器1 和接收器2。激光发光二极管3的光通过光学系统4形成了光幕。被测物体5的阴影图像通过望远镜系统6最终形成在线性CCD阵列7上。信号处理器9计算出它的大小。
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